第578章 烧钱</p>

中关村科技大楼，五楼顶层。</p>

这里不对外开放，作为由陈春仙主持的、华夏硅谷公司的自主研发项目——光刻机的设计研发基地。</p>

活了两辈子，时至今日，在此地，李建昆终于在现实中接触到光刻机。</p>

对于光刻机的了解，不再停留在键盘侠的层次。</p>

位于廊道尽头的一间实验室，有一扇硕大的对开式铁皮门，实验室里没有任何窗户，铁皮门关起来的话，处于全封闭状态。</p>

在房间右侧靠墙的位置，静静“躺”着一台机械、电子和光学等，多种科学凝聚而成的智慧结晶。</p>

它的体积比李建昆想象中要小一些，精密程度也不如记忆中的某些图片上复杂，大概率是由于功能还不够强大的缘故。</p>

这是一台由清华9003所自主研发的，第二代接近式光刻机。</p>

整体像只柜子，矩形规格，大小等于两只对开门的衣柜拼凑在一起。</p>

李建昆绕着圈圈，饶有兴致打量时，陈春仙像是给他做介绍，又像是在做某种铺垫，朗声道：</p>

“二代光刻机和一代，最大的区别在于，一代使用的是436nm的g-line光源，二代使用则是365nm的i-line光源。”</p>

他居然以为李建昆能听懂……</p>

可见早前凭借键盘侠技术，李建昆在他心中竖立起何等专业的形象。</p>

“不过一代和二代本质上其实差不多，都属于接触接近式光刻机，各自缺点明显，一代光刻机由于掩膜和光刻胶直接接触，易受污染；二代改良过后，却又出现新的问题，受气垫影响，成像精度还是不如人意。”</p>

李建昆装模作样问：“所以呢？”</p>

“要颠覆。”</p>

陈春仙指了指清华圆的方向，“我跟那边详细讨论过，也通过国外行业能搜集到的皮毛资料，做过深入研究。下一代光刻机，需要摒弃掉‘接触接近’的方式，技术出路一定在光学投影这一块。”</p>

对喽！</p>

李建昆眼神大亮，作为资深键盘侠，你跟他说具体怎么造一台光刻机，其中涉及哪些细微技术，他是真不懂。但大的技术特点，他还是有所了解的。</p>

第三代光刻机的称谓，正是叫作“扫描投影式光刻机”。</p>

“有研发思路吗？”</p>

没有我给你提供点……李建昆心想。打算先听听老陈怎么说。</p>

陈春仙进入科研状态，像是在与一个同层次的科学家，进行深刻探讨，很认真地说道：“抛弃接触接近的方式，那么只能采取隔空曝光的形式，首先要利用光学透镜聚集衍生光，提高成像质量，其次使用扫描技术实现曝光。”</p>

好家伙！</p>

思路完全正确！</p>

怕不是从9003所偷师的吧？</p>

否则仅仅研究一年，能有这么精准的思路？</p>

倒真应了那句老话，前人栽树后人乘凉，就是舒坦。</p>

李建昆竖起一根食指，“还有一点，光刻机的衍生迭代，其最终的目的，是为获得更精细的制造工艺，你上面的所说的，即使全部实现，只能提升良品率。在光源上还需要有所改变，我建议使用激光。”</p>

陈春仙诧异瞪眼，“这伱都懂？”</p>

他并非不说，是怕说出来这小子一脸懵逼。</p>

激光，那是绝对的尖端科技。</p>

李建昆尬笑挠挠头，“略懂略懂。”</p>

“要不你来研发吧，我去干别的，你这不是啥玩意都清楚？”陈春仙由衷道。</p>

对于光刻机的研发，他高低欠缺一点兴奋度。</p>

为啥呢？</p>

即使今天把三代光刻机研发出来，国内的工厂，哪家用得上？</p>

生产那些个收音机、录音机、电视机，甚至是电话机，二代光刻机够够的，一代都够用。现实的情况则是，多半工厂根本不用光刻机，仍然采用最原始的蚀刻电路法，进行IC（集成电路）的生产。</p>

诚然，光刻机更好。</p>

奈何他们似乎并不想改进。</p>